納米壓印機(jī)是一種非常靈活的壓印設(shè)備。它可提供加熱型納米壓印、UV紫外納米壓印以及真空納米壓印。模塊化系統(tǒng)可根據(jù)特定需求輕松配置，體積小，容易存放，大可處理210mm圓形的任何尺寸印章和基材。該系統(tǒng)是手動(dòng)裝卸印章和模板，但所有處理器都是全自動(dòng)的，軟件用戶可以*控制壓印過(guò)程。
該工具支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，并可選擇背面對(duì)準(zhǔn)。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對(duì)準(zhǔn)和納米壓印光刻。納米壓印機(jī)提供快速的處理和重新安裝工具，以改變用戶需求，光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時(shí)間僅為幾分鐘。其先進(jìn)的多用戶概念可以適應(yīng)從初學(xué)者到專家級(jí)別的所有需求，因此使其成為大學(xué)和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇。
對(duì)于壓印工藝，本產(chǎn)品允許基板的尺寸從小芯片尺寸到直徑150毫米不等。納米技術(shù)應(yīng)用的配置除了可編程的高和低接觸力外，還可以包括印章的釋放機(jī)制。本產(chǎn)品專有的卡盤設(shè)計(jì)可提供均勻的接觸力，以實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量的壓印，該卡盤設(shè)計(jì)既支持軟印章也支持硬印章。
優(yōu)勢(shì)：
1、對(duì)準(zhǔn)選項(xiàng)；
2、可編程的PLC觸屏界面；
3、分辨率優(yōu)于10μm，產(chǎn)率優(yōu)于99%；
4、納米壓印機(jī)同時(shí)適用于軟模和剛性模板；
5、自動(dòng)脫模，防止模板和基板損壞；
6、可壓印不同尺寸的模板和基片，方便靈活。
