影響納米壓痕試驗(yàn)的因素很多，主要影響因素可歸納為以下幾種：
1.接觸零點(diǎn)的確定
2.力和位移的測(cè)定包括環(huán)境波動(dòng)的影響和磁場(chǎng)強(qiáng)度所引起的變化
3.卸載曲線的擬合
4.熱漂移速率
5.由于表面粗糙度引起的接觸面積變化
6.力,位移的校準(zhǔn)值
7.試驗(yàn)設(shè)備的柔度
8.壓頭面積函數(shù)的校準(zhǔn)值
9.由于試驗(yàn)設(shè)備的溫度和最后一次校準(zhǔn)后時(shí)間不確定度引起的校準(zhǔn)漂移
10.試樣表面與壓入方向的不垂直度。
